材料：

誘電体多層膜

寸法：

約2.5µm厚

加工：

ハーフエッチング

レーザー用光学部品の全反射ミラーなどに使用される誘電体多層膜に対して、ベース材に熱影響を与えずに剥離することが可能です。

誘電体多層膜へのハーフエッチングサンプルの表面画像

多層膜（黄、水色、青に見える部分）が完全に除去されているのが見えます。