光学エンジン

一般仕様の構成例

インライン向けにレーザー発振器、光学系ガルバノスキャナを一体化

  • レーザー発振器は豊富に対応
     (紫外ナノ秒高出力レーザー、赤外・可視・紫外超短パルスレーザーなど)
  • マシンビジョンとの連動など多数のオプションを備えています

※参考外観図

レーザー微細加工 光化学エンジン

No. 項目 詳細
1 レーザー発振器 ナノ秒紫外高出力レーザー
各波長超短パルスレーザー
2 光学系 ビーム径選択・調整
3 ガルバノスキャナ デジタルガルバノスキャナ
Canon社、Scanlab社、Raylase社
4 Fθレンズ テレセン・非テレセン対応
5 制御PC、ソフト マスターPLCと通信
6 対物レンズ 各波長用、電動レボルバ
7 オプション 集塵・アシストガスボックス
パワーメータ
Z 軸動作
マシンビジョン
オートフォーカス

特殊光学系を備えた光学エンジン

  • ガルバノスキャナ+集光性の対物レンズの自動切換え
  • ガルバノスキャナ複数台による自動切換え(波長切換え)
  • 光学系選択により、ビームエキスパンダの自動選択
  • 加工部のステージと直列連動したシステムの構築が可能
  • オートフォーカス機能搭載により、凹凸のある対象物への対応が可能
  • 結像光学系やトップハットなどのビーム成形光学系や多分岐DOEなどあらゆるレーザー用光学系に対応
  • 多軸ガルバノスキャナやビームローテーターを応用した、テーパレス加工用特殊光学系のインテグレートにも対応

光学エンジン+搬送機の統合システム化

  • マガジン搬出、ロード、アライメント、移載、検査、アンロードの一連動作対応
  • ロールtoロール、大型搬送系との連動動作
  • ロールの連続移動ワーク対応のオートフォーカス機能搭載が可能

製品ご紹介

画像認識・マシンビジョン

ガルバノスキャナで高速かつ個別に位置を特定しての加工が可能

レーザー微細加工 光化学エンジン

レーザー微細加工 光化学エンジン

通常配列カット 認識後位置修正カット
レーザー微細加工 光化学エンジン レーザー微細加工 光化学エンジン

5軸ガルバノスキャナ

レーザー微細加工 光化学エンジン
特徴
  • 無テーパー、逆テーパー加工
  • 微細
  • 異形ストレートホール

※超短パルスレーザー発振器と組み合わせることで、多品種材料に対して、大気中にて熱影響を抑えて加工可能なため、機械、放電、ブラスト、エッチングと比べて利点があります。

マイクロギアの切断加工
(表面)
マイクロギアの切断加工
(裏面)
レーザー微細加工 光化学エンジン レーザー微細加工 光化学エンジン