ベース機Base machine

一般仕様の構成例

光学エンジン+高精度ステージによるスタンドアロン機・試験機対応

  • 統合ソフトウェア
  • 搬送系とのシステム化にも対応

ベース機外観図

レーザー微細加工 ベース機

No. 項目 詳細
1 光学エンジン レーザー発振器
光学系
ガルバノスキャナ
観察光学系
2 精密ステージ ストローク: 100~500mm
繰返し位置決め精度 1µm以下(実績)
3 除振架台
4 外装・電装盤
5 制御PC、ソフト 搭載機器の統合制御
6 オプション 上位通信(CIM対応)
画像処理
搬送系連動

試験機の応用例

試験機としては非常に有効な3波長の発振が可能な超短パルス レーザー光源を使用し、各波長用のガルバノスキャナを配置することで、何れの波長でもプロセス評価が可能なため検証用として非常に有効な構成です。

※ガルバノスキャナの構成以外にも対物レンズ構成や各種焦点距離の集光レンズなどの組合せにも対応しています。対物レンズ構成では、電動レボルバ仕様に対応しており、倍率自動補正する機能を提供してます。

レーザー微細加工 ベース機