材料：

合成石英ガラス

寸法：

500µm厚

穴径：

Φ200µm

加工：

無テーパー穴

機械加工が難しい合成石英に対して、無テーパー穴加工が可能です。
高アスペクトの穴径にも対応できますので、従来は諦めていた無テーパー穴加工を解決します。

側面から見た穴形状

穴径Φ150µm狙いの加工例

穴径Φ100µm狙いの加工例