材料：

サファイヤガラス

寸法：

85µm厚

加工：

貫通穴あけ

加工穴径（左から）
Φ300µｍ　/　Φ200µm　/　Φ100µm　/　Φ50µm

サファイヤガラスを非常に小さな個片に切り出す場合に機械加工では保持ができないため工法が成立しませんでした。
非接触加工のレーザーを用いることで、専用治具などの工夫により、ワーク保持の問題が解決されます。
またコーナーRやC面加工も実現可能です。

Φ200µm穴のSEM画像

サファイヤガラスをはじめ各種ガラスへの穴あけ加工は、超短パルスレーザーを用いることで、バリのない
エッジが立った加工を実現します。穴あけの他に切断、スクライブなどにも対応可能です。