
光度劣化の防止
独自開発の光学設計により、LEDのカッティングにおいて従来のレーザースクライバーで問題となっていた“光度の劣化”を防止します。
オートフォーカス機能
常にワークに対するレーザー照射位置を安定に保ち、ワークの厚みムラ等によるレーザー加工の不安定性を解消します。
オートアライメント機能
オリジナルの画像認識システムにより、高速にワークの自動位置合わせを行います。アライメントマークのない破片にも対応します。
レーザー出力補正機能
常時レーザーの出力を監視し、リアルタイムで補正を行うことで、加工安定性を高めます。

| 基本仕様 ※ | |
| 対応ウェハ寸法 | Φ3インチ以下 |
| 処理能力 | 8wfs/hr (Typical) |
| 外形寸法 | W:1248 D:677 H:1500 (シグナルタワー含まず) [mm] |
| 重量 | 800kg |
| 電源 | 単相 30A 200V 50/60Hz |
| 真空源 | 本体に装備済 |
| 空圧源 | 0.5MPa以上 |